ប្រព័ន្ធ TAU-9000 ប្រើប្រាស់ការថតរូបភាព spectroscopy បណ្តោះអាសន្ន ដែលមានមូលដ្ឋានលើម៉ាស៊ីនបូមទឹក ដើម្បីសម្រេចបាននូវការកំណត់លក្ខណៈគុណភាពបង្ហាញខាងសាច់ឈាម និងទំហំខ្ពស់នៃអាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិច wafer ។ ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលបង្កើតដោយរូបថតត្រូវបានរំភើបដោយពន្លឺបូម ហើយឌីណាមិកនៃការពុកផុយរបស់វាត្រូវបានវាស់តាមរយៈរូបភាពដែលបានដោះស្រាយតាមពេលវេលា ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការវាយតម្លៃច្បាស់លាស់នៃផលប៉ះពាល់នៃការផ្លាស់ទីលំនៅ ចំណុចខ្វះខាត និងការចម្លងរោគលើផ្ទៃលើអាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ដោយហេតុនេះឆ្លុះបញ្ចាំងពីគុណភាពនៃ wafer ទាំងមូល។
ប្រព័ន្ធនេះគាំទ្រទំហំ wafer ជាច្រើន (2″, 4″, 6″, 8″, 12″) និងសម្ភារៈជាច្រើនរួមមាន SiC, GaN, GaAs, InP, និង Si ជាមួយនឹងជួររង្វាស់ពេញមួយជីវិតចាប់ពី <5 ns ទៅច្រើនវិនាទី ដំណោះស្រាយទំហំ 275 μm និងគុណភាពបង្ហាញបណ្តោះអាសន្ននៃ 1-10 ns ។ បន្ទប់បូមធូលីការពារការខូចខាតអុបទិកទៅលើផ្ទៃគំរូ។ ក្បួនដោះស្រាយ AI រួមបញ្ចូលគ្នាអាចឱ្យការវិភាគដង់ស៊ីតេនៃពិការភាពបរិមាណ និងការវាយតម្លៃតាមតម្រូវការ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការតាមដានគុណភាពខ្សែសង្វាក់ពេញលេញពីស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈ epitaxy ទៅឧបករណ៍។
ប្រព័ន្ធនេះគាំទ្រទំហំ wafer ជាច្រើន (2″, 4″, 6″, 8″, 12″) និងសម្ភារៈជាច្រើនរួមមាន SiC, GaN, GaAs, InP, និង Si ជាមួយនឹងជួររង្វាស់ពេញមួយជីវិតចាប់ពី <5 ns ទៅច្រើនវិនាទី ដំណោះស្រាយទំហំ 275 μm និងគុណភាពបង្ហាញបណ្តោះអាសន្ននៃ 1-10 ns ។ បន្ទប់បូមធូលីការពារការខូចខាតអុបទិកទៅលើផ្ទៃគំរូ។ ក្បួនដោះស្រាយ AI រួមបញ្ចូលគ្នាអាចឱ្យការវិភាគដង់ស៊ីតេនៃពិការភាពបរិមាណ និងការវាយតម្លៃតាមតម្រូវការ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការតាមដានគុណភាពខ្សែសង្វាក់ពេញលេញពីស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈ epitaxy ទៅឧបករណ៍។
សាកសួរ
