SL-9000 คือระบบการตรวจสอบด้วยแสงแบบไม่ทำลายสำหรับซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม ออกแบบมาสำหรับอินเดียมฟอสไฟด์ (InP) เป็นหลัก โดยมีความสามารถในการปรับขนาดเป็นแกลเลียมอาร์เซไนด์ (GaAs) เหมาะสำหรับทั้งซับสเตรตที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าและกึ่งฉนวน ภาพระบบและแมปการเคลื่อนที่ของเกลียวและข้อบกพร่องโครงตาข่ายอื่นๆ เพื่อรองรับการประเมินคุณภาพของซับสเตรตและการปรับกระบวนการให้เหมาะสมที่สุด
SL-9000 ใช้การดับด้วยแสงโฟโตลูมิเนสเซนซ์ (PL) ที่เกิดจากข้อบกพร่อง โดยเผยให้เห็นคุณสมบัติระดับจุลทรรศน์และการกระจายตัวเชิงพื้นที่ของการเคลื่อนที่ผ่านการเปลี่ยนแปลงของความเข้มของการเรืองแสง โดยไม่มีการกัดเซาะด้วยสารเคมีแบบทำลายล้าง สำหรับซับสเตรต InP ความลึกในการตรวจสอบจะอยู่ใต้พื้นผิวประมาณ 1–3 μm การศึกษาเปรียบเทียบเกี่ยวกับตัวอย่าง InP ที่เจือด้วยซัลเฟอร์และเจือด้วยเหล็ก แสดงให้เห็นความสอดคล้องที่ดีระหว่างความคลาดเคลื่อนที่แมปด้วยแสงกับผลการ�ลื่นอื่น ๆ ขึ้นอยู่กับประเภทของสเปกโตรมิเตอร์
SL-9000 ติดตั้งมาพร้อมกับระบบการวิเคราะห์ AI และเข้ากันได้กับการตรวจสอบสนามสว่างและสนามมืด ยังสนับสนุนการประเมินข้อบกพร่องที่พื้นผิว รวมถึงรอยขีดข่วน อนุภาค และการปนเปื้อน การผสมผสานการตรวจสอบแบบไม่ทำลายเข้ากับการวัดที่มีประสิทธิภาพ สนับสนุนการวิจัย การผลิต และการควบคุมคุณภาพซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม
SL-9000 ใช้การดับด้วยแสงโฟโตลูมิเนสเซนซ์ (PL) ที่เกิดจากข้อบกพร่อง โดยเผยให้เห็นคุณสมบัติระดับจุลทรรศน์และการกระจายตัวเชิงพื้นที่ของการเคลื่อนที่ผ่านการเปลี่ยนแปลงของความเข้มของการเรืองแสง โดยไม่มีการกัดเซาะด้วยสารเคมีแบบทำลายล้าง สำหรับซับสเตรต InP ความลึกในการตรวจสอบจะอยู่ใต้พื้นผิวประมาณ 1–3 μm การศึกษาเปรียบเทียบเกี่ยวกับตัวอย่าง InP ที่เจือด้วยซัลเฟอร์และเจือด้วยเหล็ก แสดงให้เห็นความสอดคล้องที่ดีระหว่างความคลาดเคลื่อนที่แมปด้วยแสงกับผลการ�ลื่นอื่น ๆ ขึ้นอยู่กับประเภทของสเปกโตรมิเตอร์
SL-9000 ติดตั้งมาพร้อมกับระบบการวิเคราะห์ AI และเข้ากันได้กับการตรวจสอบสนามสว่างและสนามมืด ยังสนับสนุนการประเมินข้อบกพร่องที่พื้นผิว รวมถึงรอยขีดข่วน อนุภาค และการปนเปื้อน การผสมผสานการตรวจสอบแบบไม่ทำลายเข้ากับการวัดที่มีประสิทธิภาพ สนับสนุนการวิจัย การผลิต และการควบคุมคุณภาพซับสเตรตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม
คุณลักษณะของผลิตภัณฑ์
ข้อมูลจำเพาะ
ตัวอย่างการใช้งานการดูดซับชั่วคราวที่เร็วเป็นพิเศษ
สิ่งพิมพ์
ดาวน์โหลด