do sistema de fluorescência ultravioleta profunda (DUV) :

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O TPL300-UV combina resolução tempo-espectral-espacial por meio de microscópio vertical de nível de pesquisa e estágio XY de precisão. Permite imagens automatizadas de fluorescência vitalícia, mapeamento SHG/Raman e medições com excitação UV até detecção de 200 nm/excitação de 206 nm.
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Imagem de alta resolução: resolução ≤20ps/≤1μm para detecção de defeitos em wafers semicondutores.
Multi-excitação: comprimentos de onda de 206/257/343/515nm.
Não destrutivo: permite o controle de qualidade do wafer sem danificar a amostra.
Expansível: Suporta módulos de imagem Raman/SHG/fotocorrente.

Especificações

Parâmetros típicos

Comprimento de onda de teste de vida útil de fluorescência	220-600nm
Comprimento de onda de teste de espectroscopia de fluorescência	200-1000nm
Resolução de tempo	≤20 PS
Resolução espacial	≤1 μs
Capacidades de imagem	Intensidade de fluorescência ou imagem espectral/imagem vitalícia de fluorescência/imagem DUV
Alcance de imagem	Personalizável
Comprimentos de onda de excitação	206 nm/257 nm/343 nm/515 nm

Capacidades de expansão

Módulos de expansão	Raman, geração de segundo harmônico (SHG), fotocorrente e outros módulos de imagem.
Requisitos do cliente	Apoiando a expansão para condições externas, como criostato, célula de bigorna de diamante, campos magnéticos, etc.

Aplicativo

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