del sistema de fluorescencia ultravioleta profunda (DUV) :

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TPL300-UV combina resolución tiempo-espectro-espacial mediante un microscopio vertical de grado de investigación y una platina XY de precisión. Permite obtener imágenes automatizadas de vida útil de fluorescencia, mapeo SHG/Raman y mediciones con excitación UV hasta detección de 200 nm/excitación de 206 nm.
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Característica de productos

Imágenes de alta resolución: resolución ≤20ps/≤1μm para detección de defectos en obleas semiconductoras.
Multiexcitación: longitudes de onda 206/257/343/515 nm.
No destructivo: permite el control de calidad de las obleas sin dañar la muestra.
Ampliable: Admite módulos de imágenes Raman/SHG/fotocorriente.

Presupuesto

Parámetros típicos

Longitud de onda de prueba de vida útil de fluorescencia	220-600 nanómetro
Longitud de onda de prueba de espectroscopía de fluorescencia	200-1000 nm
Resolución de tiempo	≤20 ps
Resolución espacial	≤1 µs
Capacidades de imagen	Intensidad de fluorescencia o imágenes espectrales/Imagen de vida útil de fluorescencia/Imagen DUV
Rango de imagen	Personalizable
Longitudes de onda de excitación	206 nm/257 nm/343 nm/515 nm

Capacidades de expansión

Módulos de expansión	Raman, generación de segundo armónico (SHG), fotocorriente y otros módulos de imágenes.
Requisitos del cliente	Admite la expansión a condiciones externas como criostato, celda de yunque de diamante, campos magnéticos, etc.

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Catálogo de productos de TTS-2025.pdf

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