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| TPL300-UV kombiniert zeitliche, spektrale und räumliche Auflösung mit einem aufrechten Mikroskop in Forschungsqualität und einem Präzisions-XY-Tisch. Ermöglicht automatisierte Fluoreszenzlebensdauer-Bildgebung, SHG/Raman-Kartierung und UV-angeregte Messungen bis hin zur 200-nm-Detektion/206-nm-Anregung. | |||||||||
Produktfunktion
Hochauflösende Bildgebung: ≤20ps/≤1μm Auflösung zur Defekterkennung in Halbleiterwafern.
Mehrfachanregung: Wellenlängen 206/257/343/515 nm.
Zerstörungsfrei: Ermöglicht die Wafer-Qualitätskontrolle ohne Probenbeschädigung.
Erweiterbar: Unterstützt Raman/SHG/Photostrom-Bildgebungsmodule.
Spezifikationen
Typische Parameter
| Wellenlänge zum Testen der Fluoreszenzlebensdauer | 220-600 nm |
| Wellenlänge für Fluoreszenzspektroskopietests | 200-1000 nm |
| Zeitliche Auflösung | ≤20 Ps |
| Räumliche Auflösung | ≤1 μs |
| Bildgebungsfunktionen | Fluoreszenzintensitäts- oder Spektralbildgebung/Fluoreszenzlebensdauerbildgebung/DUV-Bildgebung |
| Bildbereich | Anpassbar |
| Anregungswellenlängen | 206 nm/257 nm/343 nm/515 nm |
Erweiterungsmöglichkeiten
| Erweiterungsmodule | Raman, Second Harmonic Generation (SHG), Photostrom und andere Bildgebungsmodule. |
| Kundenanforderungen | Unterstützende Erweiterung auf äußere Bedingungen wie Kryostat, Diamantambosszelle, Magnetfelder usw. |
Anwendung



