深紫外 (DUV) 蛍光システム
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深紫外 (DUV) 蛍光システムの

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TPL300-UV は、研究グレードの正立顕微鏡と高精度 XY ステージにより、時間、スペクトル、空間分解能を組み合わせています。自動化された蛍光寿命イメージング、SHG/ラマンマッピング、および 200nm 検出/206nm 励起までの UV 励起測定が可能です。
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製品の特徴


  • 高解像度イメージング: 半導体ウェーハの欠陥検​​出用の解像度 ≤20ps/≤1μm。

  • 多重励起: 206/257/343/515nm 波長。

  • 非破壊: サンプルに損傷を与えることなくウェーハの品質管理を可能にします。

  • 拡張可能: ラマン/SHG/光電流イメージング モジュールをサポートします。



仕様


代表的なパラメータ

蛍光寿命試験波長 220～600nm
蛍光分光分析の試験波長 200～1000nm
時間分解能 ≤20ps
空間解像度 ≤1μs
イメージング機能 蛍光強度またはスペクトルイメージング/蛍光寿命イメージング/DUVイメージング
撮影範囲 カスタマイズ可能
励起波長 206nm/257nm/343nm/515nm


拡張機能

拡張モジュール ラマン、第二高調波発生 (SHG)、光電流、その他のイメージング モジュール。
顧客の要件 クライオスタット、ダイヤモンドアンビルセル、磁場などの外部条件への拡張をサポートします。




応用


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革新的で信頼性が高く、スケーラブルなソリューションを提供することで、業界が比類のない精度と効率を達成できるようにし、世界中の研究と製造の進歩を推進します。

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