심자외선(DUV) 형광 시스템
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심자외선(DUV) 형광 시스템

가용성:
TPL300-UV는 연구 등급 정립 현미경과 정밀 XY 스테이지를 통해 시간-스펙트럼-공간 분해능을 결합합니다. 자동화된 형광 수명 이미징, SHG/Raman 매핑, UV 여기 측정(최저 200nm 감지/206nm 여기)이 가능합니다.
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제품특징


  • 고해상도 이미징: 반도체 웨이퍼의 결함 감지를 위한 20ps/1μm 이하의 해상도.

  • 다중 여기: 206/257/343/515nm 파장.

  • 비파괴: 샘플 손상 없이 웨이퍼 품질 관리가 가능합니다.

  • 확장 가능: Raman/SHG/광전류 이미징 모듈을 지원합니다.



명세서


일반적인 매개변수

형광 수명 테스트 파장 220-600nm
형광 분광학 테스트 파장 200-1000nm
시간 해상도 20ps 이하
공간 해상도 1μs 이하
이미징 기능 형광 강도 또는 스펙트럼 이미징/형광 수명 이미징/DUV 이미징
이미징 범위 맞춤형
여기 파장 206nm/257nm/343nm/515nm


확장 기능

확장 모듈 라만, SHG(2차 고조파 발생), 광전류 및 기타 이미징 모듈.
고객 요구 사항 Cryostat, Diamond Anvil Cell, 자기장 등 외부 조건으로의 확장 지원




애플리케이션


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혁신적이고 안정적이며 확장 가능한 솔루션을 제공함으로써 업계가 비교할 수 없는 정밀도와 효율성을 달성할 수 있도록 지원하고 전 세계적으로 연구 및 제조 분야의 발전을 주도합니다.

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