| システム | |||||||||
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| さまざまなセルサイズに対応: 10cm*10cm、30cm*30cm 複数の検査方法を統合 明視野イメージング/PLイメージング/ELイメージング/光電圧(電流)イメージング 高速かつ高精度のAl欠陥認識イメージング テスト時間<30秒(10cm*10cm)、空間分解能は10μmです。 光電圧(電流イメージングインジケータ) 試験時間<10分(10cm*10cm)、空間分解能は20μm/100μmです。 |
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製品の特徴
さまざまなセルサイズに対応: 10cm*10cm、30cm*30cm
複数のテスト方法と統合
明視野イメージング/PLイメージング/ELイメージング/光電圧(電流)イメージング
高速かつ高精度なAl欠陥認識イメージング
試験時間は30秒未満(10cm*10cm)、空間分解能は10μmです。
光電圧(電流イメージングインジケーター)
試験時間は10分未満(10cm*10cm)、空間分解能は20μm/100μmです。